TFT-LCD面板行業(yè)的高世代化，對潔凈車間的設(shè)計提出了更高的要求，各項潔凈技術(shù)指標要求也隨之升高。液晶器件產(chǎn)品的生產(chǎn)一般要求潔凈車間的清凈度10000級以上的， 且局部工藝要求100級以上。根據(jù)工藝要求分為4 個區(qū): A區(qū)為人身凈化及部分輔助辦公用房；B區(qū)為凈化車間生產(chǎn)區(qū)；C區(qū)為動力設(shè)施區(qū)；D區(qū)為倉儲用房。

玻璃基板的表面積大，容易落上灰塵，所以在存儲、搬運、加工過程中要避免塵埃附著。TFT-LCD陣列工程是在厚度不足1毫米的玻璃基板上制作細微且復(fù)雜的TFT層，由于這一工序是決定液晶顯示器品質(zhì)的至關(guān)重要的工程，需要盡可能地避免灰塵的污染及振動影響。
 為了達到液晶面板潔凈車間的潔凈要求，就需要對新進入潔凈車間的空氣進行過濾，確保潔凈車間不被污染。而如何鑒定潔凈車間潔凈度是達標的，肯定不能用肉眼來觀察判定，需要用到專業(yè)的粒子監(jiān)測器，比較常用的有PMS在線粒子連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)。

PMS在線粒子連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)

美國粒子監(jiān)測系統(tǒng)公司 (PMS)是一家專注于環(huán)境粒子及微生物監(jiān)測技術(shù)研究的公司，產(chǎn)品主要用于潔凈室的污染監(jiān)測及控制。PMS可在清潔環(huán)境中計算粒子數(shù)量，并形成報表。PMS能夠在潔凈室持續(xù)監(jiān)測，最小可監(jiān)測粒徑 10nm以下的粒子，一旦空氣中塵埃超標，就能夠發(fā)出警報，讓管理員及時發(fā)現(xiàn)和處理，避免液晶產(chǎn)品品質(zhì)下降，提高效益。