無塵車間燈管分為白色燈管和黃色燈管兩種，能有效抑制400~500nm以下波長的紫外線釋放，廣泛應(yīng)用于不需要紫外線的場所。液晶產(chǎn)業(yè)無塵光刻間是不能有紫外線的，否者玻璃基板上的透明導(dǎo)電圖形容易報廢。液晶產(chǎn)業(yè)無塵室光刻間的燈管通常采用HID高壓氣體放電燈，若是該照明系統(tǒng)除了故障，那么對光刻加工工序影響非常大。

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圖為廣科智能工程隊現(xiàn)場維修STK智能倉儲系的HID高壓氣體放電燈系統(tǒng)的VAHLE法勒集電器。德國VAHLE(法勒)是一家專門從事移動供電和數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備的公司，創(chuàng)立于1912年,總部設(shè)在德國卡門。VAHLE(法勒)的移動供電和數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備可應(yīng)用于多種領(lǐng)域，主要應(yīng)用于起重機械（常規(guī)）、自動倉儲系統(tǒng)、自動化生產(chǎn)線，港口等。

STK基板維修 STK基板維修 STK基板維修

圖為廣科智能工程隊現(xiàn)場維修STK智能倉儲系的HID高壓氣體放電燈系統(tǒng)的 LDS-2691A基板。